应用案例

半导体制造高精度光学解决方案

我们为半导体设备集成商提供涵盖高分辨率工业相机、定制化光学镜头及光谱共聚焦、光干涉测量系统的全栈式解决方案,助力芯片制造关键工艺的质量控制。

3D测量

在半导体制造工艺中,为了形成精细的图案和结构,对成像精度的要求极高。工业相机作为半导体制造设备的关键组件,其核心部件工业镜头的性能尤为关键。高分辨率工业镜头通过高品质的光学元件和优秀的设计,能够实现精准成像,为半导体制造设备提供高精度的贴合和检测功能。

同时,工业相机的光谱响应特性也对半导体制造中的缺陷检测至关重要。例如,多光谱缺陷检测技术利用特定波长的光来识别可见光下难以辨识的缺陷。

镜头的定位和距离对半导体设备的细微图案形成和检查精度有着直接影响,而高精度镜头能够实现精准定位和成像,最大限度地抑制细微图案层间的位置偏差,从而助力产品品质的提升。

此外,光谱共焦技术在半导体制造中的应用也非常广泛。例如,用于测量晶圆厚度、高度、翘曲度以及自动对焦高度测量等。这种技术不仅提高了测量精度,还提升了检测效率,使其在半导体制造中具有重要的应用价值。

半导体应用

半导体制造高精度光学解决方案

我们为半导体设备集成商提供涵盖高分辨率工业相机、定制化光学镜头及光谱共聚焦、光干涉测量系统的全栈式解决方案,助力芯片制造关键工艺的质量控制。

3D测量

在半导体制造工艺中,为了形成精细的图案和结构,对成像精度的要求极高。工业相机作为半导体制造设备的关键组件,其核心部件工业镜头的性能尤为关键。高分辨率工业镜头通过高品质的光学元件和优秀的设计,能够实现精准成像,为半导体制造设备提供高精度的贴合和检测功能。

同时,工业相机的光谱响应特性也对半导体制造中的缺陷检测至关重要。例如,多光谱缺陷检测技术利用特定波长的光来识别可见光下难以辨识的缺陷

镜头的定位和距离对半导体设备的细微图案形成和检查精度有着直接影响,而高精度镜头能够实现精准定位和成像,最大限度地抑制细微图案层间的位置偏差,从而助力产品品质的提升。

此外,光谱共焦技术在半导体制造中的应用也非常广泛。例如,用于测量晶圆厚度、高度、翘曲度以及自动对焦高度测量等。这种技术不仅提高了测量精度,还提升了检测效率,使其在半导体制造中具有重要的应用价值

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